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現場のスパッタリング薄膜基礎講座

日刊工業新聞社から発行されている「現場のスパッタリング薄膜Q&A」の著者のブログです。スパッタのコンサルタント(有)アーステックを営んでます。本のなかで書ききれなかったスパッタリングに関する情報や技術を載せます。

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  • 「スパッタ何でも相談室」を作りました。

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    スパッタ技術用語を解説します。1回目は、アーキング(異常放電)です。

  • "プラズマ気相反応工学" 提井信力 小野茂著 を紹介します

  • "プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用” 市村博司・池永勝 著を紹介します

  • "低温プラズマ材料化学" 長田義仁編著 を紹介します

  • ”プラズマプロセシングの基礎” Glow Discharge Processes 岡本幸雄訳 

  • "スパッタリング現象" 金原粲著 東京大学出版会 を紹介します

  • ”薄膜作成の基礎”麻蒔立男著 日刊工業新聞社 を紹介します。

  • ”スパッタ薄膜”小林春洋著 日刊工業新聞社刊の紹介

  • HIPIMS用電源で作製した反応性スパッタTiOx膜の論文を紹介します。

  • 「現場のスパッタリング薄膜Q&A」差し上げます

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