スパッタリングに関するセミナーを2件ご紹介します。晴れ


関東学院大学材料・表面工学研究所セミナー


2012年12月5日(水)10時~18時30分 

横浜市工業技術支援センター6F大会議室 セミナー費10000円


表面技術の新動向と題して、めっき技術とドライのスパッタ技術を合わせて行われます。かに座


ドライプロセスに関しましては、


気相プラズマプロセシングからソリュージョンプラズマプロセシングへ 

高井治教授


ロールコーティングによる機能性フィルムの開発 凸版印刷 宇山晴夫


低ダメージのためのロータリーカソード技術と高速成膜技術 小島啓安


LF帯電源による高効率プラズマ装置 JCU 上山浩幸


のプログラム予定です。


アーステック 小島の発表は、GENCOA社の最新のロータリーカソード技術について、紹介します。

現在、サムソンのギャラクシー等に使われている有機ELディスプレーのバリア膜、またCIGS系太陽電池に使用されるAZO透明導電膜などの低温、高速成膜について、話をします。

 ロールtoロールで行うプラスチックフィルムでの低ダメージのカソード技術として、デュアルカソードを用い磁場をリンクした新型カソードについて、最新の技術を紹介します。もみじ



広く一般公開されます。興味のある方は、是非お越しください。

連絡先は、関東学院大学 材料・表面工学研究所 事務局

  tyamada@kanto-gakuin.ac.jp 045-370-7131  です。



2件目は、12月6日(木)、真空学会 SP部会 定例会にて、やはりGENCOA社 ロータリーカソード技術について、プレゼンを行います東京タワー



アーステックは、スパッタ技術に関するコンサルタント会社です。ニコニコ


スパッタ技術は、日々進化しています。

相談コースあります。ビックリマーク


アーステック   earth-tech@r9.dion.ne.jp