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現場のスパッタリング薄膜基礎講座

日刊工業新聞社から発行されている「現場のスパッタリング薄膜Q&A」の著者のブログです。スパッタのコンサルタント(有)アーステックを営んでます。本のなかで書ききれなかったスパッタリングに関する情報や技術を載せます。

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