【ＮＥＤＯ実用化ドキュメント069】全固体紫外レーザー光源を世界で初めて実用

６９、電子・情報_フォトン計測・加工技術の研究開発／高集光完全固体化レーザー技術_波長変換特性に優れた、全固体紫外レーザー光源を世界で初めて実用化_大阪大学・株式会社光学技研\取材：December2013：http://www.nedo.go.jp/hyoukabu/articles/201312kogakugiken/index.html

エキシマレーザーと比較して、エネルギー効率約5倍

私たちの身近にある各種デジタルデバイス、通信機器、自動車、医療機器などは、半導体集積回路（LSI）の高密度化・高集積化技術により支えられており、その半導体製造プロセスには、レーザーを用いた超微細な計測や加工が欠かせません。

現在半導体分野では、波長が短く、加工性・集光性に優れ、熱を発生させずに切断、加工、計測が可能な紫外線レーザーが広く求められており、半導体露光プロセスの際には混合ガスを用いたレーザー（エキシマレーザー）が主流です。

しかし、エキシマレーザーは、アルゴン（Ar）やフッ素（F）といった有毒ガスを用いており、装置の大型化とメンテナンスコストがかかるだけでなく、レーザーとしての品質が低く、エネルギー変換効率も低いといった問題があります。

そうしたなか、大阪大学の佐々木孝友名誉教授、森勇介教授らは、赤外光から紫外光への波長変換特性に優れた「CLBO結晶」を発見。さらに、それを実用化するため、NEDOの「フォトン計測・加工技術の研究開発」に参画し、高品質なCLBO結晶の育成技術を確立するとともに、神奈川県厚木市の株式会社光学技研と共に、結晶の研磨・加工技術を確立することで、従来のエキシマレーザーと比較して、エネルギー効率約5倍となる「全固体紫外レーザー光源素子（CLBO波長変換素子）」を世界で初めて実用化させました。

開発されたCLBO波長変換素子は、1996年4月から光学技研より販売が開始されており、固体紫外レーザーの世界市場において100％のシェアを誇っています。

※詳しくは下記資料をご覧下さい。