真空ポンプを外付けにつないだらガスフローができなくなった | 技術日誌

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ここでは,電子工作,木工などの趣味での記録を書いています。
なお当初はKMK研究所のメインテーマであるSPSのノウハウを書いてきましたが,順次SPSノウハウのページに複製を作っていきます。

 先に内蔵真空ポンプに加えて拡散ポンプも使えるようにする記事を載せました。その後,内蔵真空ポンプが故障してしまいました。でも,拡散ポンプの荒引きを使えばこれまで通りの真空操作が可能です。内蔵真空ポンプは使わなくなったので,そちらの口をふさいでしまいました。その状態でしばらく使っていましたが,あるときガスフローしようとしたら,ガスが導入できませんでした。調べたら,内蔵真空ポンプの部分から外部ガスを導入するようになっていました。そちらを塞いであるのでガスが導入できなくなってしまったのです。
 そこでどこかガスを導入できる場所を探してみました。連成計につながっているホースを使うことにしました。連成計は下の写真のようなおおざっぱな真空度(加圧領域も計れる)を表示する機器です。


 そのホースを分岐するのに,下の写真のようなプッシュワンYユニオンを用いると便利です。


 そして,下の図のように接続しました。これでガスフローも可能です。


補足事項:外付け真空ポンプの場合,チャンバーを閉じた後,外付け真空ポンプを開にしても,チャンバーの合わせ目から空気が漏れて真空になりません。チャンバーを上げきってた後,モータが止まると少し合わせ目が開いてしまうのです。内蔵真空ポンプの場合,開ボタンを押すと,連動してチャンバーのモーターが1秒程動き,合わせ目が閉じられます。それにより,真空になり,その後は大気圧により閉まったままとなります。
 外付け真空ポンプの場合,このことを手動でやる必要があります。すなわち,外付け真空ポンプを開にしたら素早くチャンバーUPを行うのです。