ピラニーゲージ低真空域での真空度を調べるのに使われていますが,センサの経年変化により時々校正する必要があります。校正は2点で行います。1点は大気圧,もう1点はピラニーゲージでゼロとみなせるような高真空が便利です。後者は拡散ポンプを使えば簡単に得られます。拡散ポンプにより10のマイナス2乗Pa以下にして,ランプの右側のVACのボリューム(時計用ねじ回しで回せます)で,針をゼロに合わせます。次に,チャンバーをリークさせ大気圧にします。そして,ATMのボリュームで1.013×10の5乗(上側の10の目盛の右側の目盛)に合わせます。残念ながらこれで終わりではありません。ATMのボリュームを回すと,VACの調整も少しずれてしまいます。したがって,VACの調整,ATMの調整を何回か繰り返します。