拡散ポンプの冷却をSPSの冷却系からとる | 技術日誌

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ここでは,電子工作,木工などの趣味での記録を書いています。
なお当初はKMK研究所のメインテーマであるSPSのノウハウを書いてきましたが,順次SPSノウハウのページに複製を作っていきます。

 当初,拡散ポンプの冷却は,水道水より引き,垂れ流しにしていました。なんとかSPS装置のチラー装置からとれないかと考えていましたが,富士電波工機様からありがたいアドバイスをいただきました。「上側のチャンバーの冷却水の出口に拡散ポンプの冷却系をかませればよい」とのことでした。上側チャンバーの冷却水は青い矢印のようになっています。冷却水は[冷却水入り口]から来て,[流量センサ]へと流れています。実際には黒色のウレタンチューブでつながっています。

そこで,上側チャンバーの水の出口を拡散ポンプ(DP)のインレットに導き,DPアウトレットから戻ってきた水を流量センサへとつながるホースにつなげます。

実は,DPの冷却系のウレタンホースはSPS装置のものより少し太いです。そこで異径ユニオンストレートのジョイントを使いました。このジョイントとDP用のウレタンホースを購入し,ワンタッチで差し込むだけで工事は完了です。