チャンバーを真空引きするとロータリーポンプの排気からオイルミストが煙のように出てきます。このオイルミストを吸い込むと健康上危険です。通常オイルミストトラップを付けますが，それでも排気のはじめには結構でてきます。この排気はフレキシチューブでドラフトまで引いておきましょう。下の写真の青い部分は拡散ポンプ中のロータリーポンプのオイルミストトラップです。その出口にフレキシチューブをつなぎました。出口の径とちょっと異なりますが，シリコンゴムテープを使うのが便利です。これは弾力があり，伸びます。伸ばしながら接続部分にぐるぐると巻き付けます。このテープはのりがついていません。引っ張ると自分自身が貼り付くのです。他とは付かないのでべたべたしません。しかし，巻いた部分のテープが互いにくっつくので一体化してきちんと固定されます。しばらくすると巻いたテープはほどけなくなります。外したいときは，カッターナイフで切ればよいです。取り付けた部分とは接着されていないのできれいに取り外すこともできます。
