【ＮＥＤＯ実用化ドキュメント075】動く半導体で機器の小型・軽量・高性能化へ

７５、電子・情報_マイクロマシン技術研究開発プロジェクト他_"動く"半導体で、様々な機器の小型・軽量・高性能化を実現_オムロン株式会社_取材：February2014

https://www.nedo.go.jp/hyoukabu/articles/201316omron/index.html

3.8mm角の微小半導体装置で、高低差50cmを正確に測定する技術を実現

自動的に手ぶれ補正を行うデジタルカメラ、高精細のインクジェットプリンター、家庭で手軽に血圧や心拍数を測定できる自動血圧計などのデジタル機器や、自動車、スマートフォンにいたるまで、私たちの身近な製品には、数多くの「MEMS（Micro Electro Mechanical Systems/微小電気機械システム）」と呼ばれる部品が使われています。

MEMSは、デジタル機器の頭脳ともいえるLSI（大規模集積回路）が処理した内容を機械動作部分へとつなぐ、もしくは物理的な動きや量を測ってLSIに伝える役割を担っており、「動く半導体」のようなものです。さらに、MEMSはマイクロメートル（1mの100万分の1）オーダーの微細加工により形成された超小型デバイスであるため、複雑で高度な機械的役割を果たしながらも、その消費電力は僅かで、多くのデジタル機器の小型化や動作時間の延長に大きく貢献しています。その特長を生かした用途の一つがスマートフォンと言えるのです。

センサーや健康器具などで知られるオムロン株式会社は、1991年度から開始された経済産業省・NEDOによる「マイクロマシン技術研究開発プロジェクト」を皮切りに、現在まで約20年間以上にわたりNEDOのMEMS関連プロジェクトに参画し、設計技術、薄膜積層技術、接点の高信頼・高耐久性技術などを確立してきました。

その成果は、現在では、携帯電話やスマートフォンのマイクロフォン（20台に1台程度）、血圧計用センサーや活動量計用センサーなど、世界中の様々な製品に搭載され、身近なところで使用されています。今後も、MEMS技術がどんどん実用化されていくことで、センサーネットワーク等による安全・安心・スマートな社会の実現が期待されています。

※詳しくは下記資料をご覧下さい。