No.114 6月24日オリンパス 被膜装置を内製化
No.114 6月24日オリンパス 被膜装置を内製化
リードタイム削減
内視鏡向けなどレンズの薄膜コーティング装置の開発にめどをつけた。
コーティング方法を従来の真空蒸着から、
高エネルギーのプラズマを照射して被膜するスパッタリングに転換。
購入品の真空蒸着装置より工程時間を70%、
設備容積を98%、二酸化炭素（CO2）排出量を毎時75%削減する。
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DLC, GLC, FHC, BHC, HV-DLC等
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コーティングサンプル
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No.113 ピストンリング大手３社 DLC
No.113 ピストンリング大手３社 DLC
生産能力相次ぎ増強
（2010年6月22日 日刊工業新聞）
リケンは燃費向上につながるダイヤモンドライクカーボン（DLC）の表面処理設備を追加し、
能力を従来比で２倍に高めた。
バルブリフター用のDLC表面処理設備を１機追加導入した。
エンジンバルブ開閉時の摩擦低減により数％の燃費低減につながる。
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No.112 東研サーモテック コーティング事業好調
No.112 東研サーモテック コーティング事業好調
海外シフトを加速
（2010年6月17日 日刊工業新聞）
ハイブリッド車摺動部品や、
クリーンディーゼル車のコモンレール向けにDLCの需要が増えている。
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No.111 短時間でSiC合成
No.111 短時間でSiC合成
マイクロ波加熱利用
炭素とケイ素の微粉末を混合した原料にマイクロ波を当て、
加熱することで反応させてSiCを合成する。
マイクロ波では対象物そのものを加熱するため短時間に、
しかも省エネで合成できる。
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高純度、微細粒SiC膜2mm以上成膜可能！！
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No.110 高誘電率の膜作成
No.110 高誘電率の膜作成
気化供給装置開発 次世代LSI対応
（2010年4月21日日刊工業新聞）
開発したのは、
原料に有機溶剤を混ぜて蒸気圧を上げ、
液体を直接噴射して気化する「減圧沸騰噴霧気化」
と呼ぶ成膜方式。
特殊な噴射弁を使い、
弁の内部で発生する微小なゴミを抑える。
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●弊社MAD処理（200℃以下表面改質処理）を加えると
さらにＤＬＣの密着性向上！！
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MAD処理による表面改質
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コーティングサンプル
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No.109 航空 田中 表面処理技術で本格参入
No.109 航空 田中 表面処理技術で本格参入
プラズマ表面硬化技術
（2010年4月16日 日刊工業新聞）
チタン合金の強度やステンレス合金の耐食性を損なうことなく、
耐摩耗性を高められる点。
メッキ等のコーティングと違い、
表面の性質そのものが変化しているため、
長期間使用していても硬化層が剥離しない。
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耐蝕、耐磨耗、撥水性向上！！
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MAD処理による表面改質
No.108 東研サーモテック タイで熱処理強化
No.108 東研サーモテック タイで熱処理強化
ガス浸硫窒化ライン新設
（2010年４月１６日 日刊工業新聞）
ガス浸硫窒化ラインを新設するほか、
連続ガス浸炭ラインを増設する。
日系自動車メーカーなどのタイ生産シフトによる
需要の急増に対応する。
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No.107 焼き入れ技術確立 耐摩耗性30-50%向上
新羽金属工業 焼き入れ技術確立
耐摩耗性30-50%向上
（2010年4月5日 日刊工業新聞）
「鋼のオーステナイト微細焼き入れ（NFP処理）」を確率した。
行程に窒化処理の一種を加えることで、
ベアリング綱やダイス鋼の耐磨耗性が30-50%向上。
焼入れ温度を低くすると金属の結晶が微細化して
靭性や耐摩耗性が向上することに着目し、
鋼の表面に窒素を浸透させて焼き入れ温度を下げた。
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●インターフェイスは様々なDLC系膜の受託加工を行っております。
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No.106 カーボンナノチューブ８ナノメートル太さ実現
カーボンナノチューブ８ナノメートル太さ実現
東洋大、新たな特性期待
（2010年3月24日 日刊工業新聞）
プラズマ化学気相成長（CVD）法を利用。
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No105 ２２年３月２２日 日刊工業新聞 プラズマで粉体表面改質
日刊工業新聞 プラズマで粉体表面改質で粉体を純水などに分散させる粉体処理装置
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