【ＮＥＤＯ実用化ドキュメント030】世界が認める画期的・高品質な半導体製造装置

３０、電子・情報_高効率半導体製造装置の技術開発_世界が認める画期的・高品質な半導体製造装置_衛星放送用のアンテナをプラズマ励起に応用_東京エレクトロン株式会社／東北大学未来科学技術共同研究センター_取材：December2010、January2011：http://www.nedo.go.jp/hyoukabu/articles/201011tokyo_elec/index.html

集積回路の消費電力1/2
処理性能100%アップ

パソコンや携帯電話などの情報通信機器はもちろん、家電製品から自動車に至るまで、ほとんどのものに搭載されている「半導体」。今ではシステムLSIなど「集積回路」のことを指すのが一般的です。集積回路はムーアの法則（集積密度は数年で倍増する。）やそれを超えるレベルでの回路の微細化が進むと言われていますが、従来の半導体製造装置の限界も浮き彫りになってきています。そうした中、NEDOプロジェクトの下、東北大学未来科学技術共同研究センターの大見忠弘教授と東京エレクトロン株式会社では、次世代を担う、画期的な半導体製造装置の開発に成功しました。

※詳しくは下記資料をご覧下さい。