こんにちは
今回、「半導体製造装置内の熱気排気に」について
紹介させていただきたいです
装置・設備の名称：ＵＶ照射コンベア
送風機の用途：
半導体基板へのＵＶ照射時に発生する熱気の排気用
製品採用の背景：
お客さまが製造するＵＶ照射コンベア装置はコンパクトがウリ。
よって送風機を搭載する条件はコンパクト・
低騒音（コンパクトな装置だけに送風機自体から発生する騒音を
できる限り抑えたい）。そこで、エアホイル羽根車を
採用した低騒音シリーズ・ＡＨタイプを提案した。
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