【サムコ】「ペロブスカイト太陽電池」向けのALD（原子層堆積）装置を手掛ける

【サムコ】
「ペロブスカイト太陽電池」向けのALD装置を手掛ける

　サムコ（6387）は、化合物半導体を中心としたオプトエレクトロニクスや高周波デバイス、電子部品分野を中心に手掛けています。2021年5月には、ペロブスカイト太陽電池向けのALD（原子層堆積）装置を京都大学に納入しています

ALD（Atomic Layer Deposition）は、気相成膜技術の一つで、基板上に原料の供給と余剰原料のパージを繰り返すことで原子層一層ずつを成膜する手法です。ペロブスカイト太陽電池では、ペロブスカイト層やホール輸送層などの薄膜を形成するためにALDが用いられます。

サムコのALD装置は、容積を小さくし、ガス消費を抑えた効率的な反応室構造を採用しています。また、オープンロード（反応室開閉）式の装置にグローブボックスを装備しており、大気にさらすことなく試料の出し入れが可能です。

京都大学の若宮研究室では、サムコのALD装置を用いて、ペロブスカイト太陽電池の光電変換効率の向上を目指した研究を行っています。

サムコは、今後もALD装置の開発・製造に注力し、ペロブスカイト太陽電池をはじめとする薄膜デバイスの研究開発に貢献していく方針です。

具体的には、以下の取り組みを進めています。

サムコのALD装置は、ペロブスカイト太陽電池の研究開発において、重要な役割を果たすものと期待されます。

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