半導体製造装置用MFCとは
MFCは半導体製造工程の成膜やエッチングプロセスにおいて，さまざまなガスの質量流量を高精度に制御する重要な機器である。 近年の半導体プロセスでは，チップの配線を縮小させる微細化技術，ウェハの面内均一性及び製造装置間の機差低減によるウェハのばらつき軽減が必要とされている。
増産体制の堀場製作所とは
自動車の排ガス、プロセス・環境の計測、生体外の医療診断、半導体製造の測定をはじめ、研究開発や品質測定などで使われる計測器やシステムを提供している京都発のメーカー
新工場を増産すると発表
堀場製作所は12日、京都府福知山市に半導体製造装置向けのマスフローコントローラー（MFC）や薬液濃度モニターなどを生産する新工場を建設すると発表した。堀場グループとして過去最大の約170億円を投じる。国内におけるMFCの生産能力は現状比最大約3倍まで拡張可能となる。2026年1月に竣工する。同社は半導体製造装置向けMFCで世界シェア首位。中長期的な成長が期待される半導体市場向けに安定供給体制を整える
その先のビジョン
現在、国内でのMFCの生産能力は年間約60万台だが、新工場のフル稼働時には約3倍の年間約180万台まで増強可能となる。 主力製品のMFCや薬液濃度モニターのほか、自社製品用プリント基板なども生産する予定。半導体事業に関連する製品やシステム、半導体事業以外の製品の生産にも柔軟に対応する。
