超音波の音圧測定用部材に関する表面改質技術ーーメガヘルツ超音波によるエージング超音波の音圧測定用部材に関する表面改質技術 ーーメガヘルツ超音波によるエージング(表面残留応力の緩和・均一化)処理ーー(超音波システム研究所)