秩父鉄道で一番古いのがデキ100形で、1950年代から製造されたデッキ付きの箱型機関車です。
1963年（昭和38年）に製造されたデキ100形のモデルチェンジ車で、車体は角の丸みが大きくなり、２灯並んだ大型ヘッドライトと運転室の窓のつらら切り(日さし)が特徴でしたが、今ではシールドビームという小さなライトに交換されています。
重い貨車をスリップしないで引っぱれるように、独特な形の台車になっています。
今残っているのはデキ201号機だけで、普段はパレオエクスプレスの回送用に使われていますが、時々、客車を引っぱって臨時列車でも走ります。
1967年（昭和42年）に製造されたデキ200形のモデルチェンジ車で、車体はデキ200形と同じですが、運転室の窓のつらら切り(日さし)はありません。独特な形の台車から普通の軸バネ式台車に変更されましたが、重い貨車を引っぱってすべりやすい時は、電気的にスリップを防ぐようになっています。
1973年（昭和48年）から1980年（昭和55年）にかけて７両が製造された秩父鉄道の主力機関車です。車体はデキ300形と同じで、503号機からは運転室の窓が大きくなって、ひさしも付いています。