発生から１カ月を迎えた東日本大震災の影響で、半導体生産に必要な部材の調達が
危機に直面している。原材料シリコンウエハーと、製造工程に欠かせない洗浄液の
主要な各生産拠点での操業停止がいまも続き、復旧の目処が立っていないためだ。
半導体各社は在庫を活用して生産を続けているが、このまま生産停止が続いた場合、
５月頃から影響が本格化するとの見方もある。
○操業停止続くウエハー３工場
シリコンウエハーの国内生産拠点では、信越化学工業の子会社、信越半導体の白河
工場（福島県西郷村）、ＳＵＭＣＯの米沢事業所（山形県米沢市）、米ＭＥＭＣの
宇都宮工場（宇都宮市）の計３カ所が震災以来、操業停止したまま。１１日時点でも、
信越化学は「近いうちに一部でも再稼働させたいが、本格稼働の時期は未定」として
おり、ＳＵＭＣＯ、ＭＥＭＣともに再開時期の目処は立っていないとしている。
信越化学は、三益半導体工業や長野電子工業（長野県千曲市）などグループの他工場
で代替生産を進めているほか、ＳＵＭＣＯでも伊万里工場（佐賀県伊万里市）の
未稼働設備の活用などを検討しているという。ただ、停止した３工場は、半導体の
先端工場で用いられる直径３００ミリのウエハーの世界生産量の３割（業界推計）を
占めており、国内半導体メーカーにとっては３割という世界シェア以上に重要な
調達先だ。
半導体などハイテク分野の調査会社アイサプライ・ジャパンの南川明・副社長は、
白河工場などの操業停止が国内の半導体メーカー与える影響について、
「４月いっぱいは在庫のウエハーで何となる状況だが、５月から問題になりそうだ」
と指摘する。あるウエハーメーカー関係者は「今まで取引のなかった半導体メーカー
から１枚でも出してくれないかという要請が来ている」と話す。
○洗浄液の最大工場も目処立たず
もうひとつ懸念されているのが、半導体の製造工程で必要な洗浄液の供給だ。原料の
過酸化水素を生産する三菱ガス化学の鹿島工場（茨城県神栖市）も震災以来、操業を
停止している。同社の過酸化水素の世界シェアは６割に上り、三重県四日市市、米国、
台湾、シンガポール、韓国でも生産しているが鹿島工場は最大拠点。同社は鹿島工場
について、「プラントに大きな被害はなかったが、鹿島コンビナートの事情で十分な
電気、蒸気、原料（水素）が来ていない」（広報ＩＲ部）ため工場を動かせない状況
だという。
現在は鹿島工場などの在庫を使いながら、半導体用の高純度過酸化水素の供給を続けて
いるが、三菱ガス化学では、「在庫は４月のどこかで足りなくなる可能性もあり、
海外品の輸入などで何とか間に合わせようと考えている」（同）と説明する。