半導体製造用に新材料 出光が開発（フジサンケイ ビジネスアイ）

話題のニュースですね。

え・・・そんな・・・



出光興産の話題を見ると、思わず笑ってしまいます。
また気になったこととしては、アルゴンフッはなんだかとても面白そうですね。
しかしながら、アダマンタンについて、はてなダイアリーでよく確認してみたいと思います。
気になったところから言いますと、回路形成工程の情報は、要確認の情報だと思います。
だが、感光性樹脂にとても惹かれました。


　石油元売り大手の出光興産は１８日、半導体の製造過程で使われる、感光性樹脂（フォトレジスト）向けの新材料３種類を開発、発売したと発表した。アルゴンフッ素（ＡｒＦ）と呼ばれるレーザーを光源とした半導体の製造工程で使われる感光性樹脂に使う。価格は１キログラムあたり十数万円～数十万円。化学メーカー向けなどに売り込み、初年度３億円の販売を目指す。 　発売した「アダマンタン誘導体」３種類は、線幅４５ナノ（１ナノは１０億分の１）メートルの半導体の回路形成工程に使われる感光性樹脂原料。　現在の半導体は線幅６５ナノが主流だが、半導体メーカーは２０１０年度から４５ナノの量産を計画しており、今後の需要拡大が見込めると判断した。 　出光は感光性樹脂の原料となるアダマンタン誘導体で国内７０％のシェアを持つトップメーカー。生産は徳山工場（山口県周南市）で行い、年産能力は３００トン。

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