表面処理

産総研：活性酸素の表面作用量モニターを開発
活性酸素は、紫外線（UV）ランプや大気圧プラズマなど
を用いた表面処理プロセス分野に
幅広く利用されていますが、これまでその作用量を簡便
に計測できる手段がありませんで
した。空間中の活性酸素計測手法としては、レーザー誘
起蛍光法や真空紫外吸光分光 ...
<http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2011/pr20110510/pr20110510.html>