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半導体の製造技術を使って、機械部品や電子回路を集積したデバイスをMEMSという。 MEMSの例としては、インクジェットのプリントヘッドや微細なセンサーがあり、モバイル用ディスプレイへの応用も進んでいる。 イリノイ大学のRashid Bashir博士らは、MEMSによって「ラボラトリー・オン・チップ」を実現した。 これは、生化学の実験設備をワンチップにまとめたものだ。 全文
家電チャンネル 04月15日 17時06分
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