とある研究室から廃棄予定だった真空ポンプを譲って頂いた。
真空度が出なくなって来たとの事。
ULVAC社のDCT-22 高耐腐食対応のモデル。
早速分解する。
外装が箱根細工の様にスライドしないと外れない。
ポートサイドのパネルが、もう少しというところで外せない。のでポートを外す。
Oリングも耐腐食用の特殊なタイプ。
パネルが外せた。
トップパネルはシンプルなねじ止め。
冷却ファンは何故か3本のネジで固定。パネル側のネジ穴は4つあいている。
フロー方向に注意。
電源ケーブルの固定はこの向き。
ACケーブルを外す。
黒-黒、白-赤の接続。
電源スイッチやコンデンサ周りのコネクタに一応マーク。
（コンデンサの極性は無いけど一応）
次はポンプ周りの分解。