Ｒ＆Ｄ支援センター
技術者・研究者向けセミナーの紹介
【講座の内容】
【受講対象】
・現在および今後洗浄技術に関わる技術者
（電子材料・部品、電池、MEMS、光学材料・部品、実装、ディスプレイ、半導体、金属部品、電子材料・部品製造企業）*予備知識
・大学教養課程の物理、化学の知識
【習得知識】
・精密洗浄技術についての基本知識
【講師の言葉】
先端製品を歩留まり良く作るには、加工・処理部品を高清浄に保つことが大事で、製造工程で行なう洗浄は重要な役割を担っている。そうした洗浄を効果的、かつ効率よく行なうには洗浄の基本的な知識をよく理解し、理に適った洗浄プロセスを適用しなければならない。さらにその結果が清浄度要求を満たすことができたか検証するため、残存した汚れの量を定量して評価しなければならない。
本講座では、精密洗浄プロセスの構築に役立つ知識と、洗浄結果が要求を満たしているかを確認するため残存汚れの測定法を解説する。
【プログラム】
Ⅰ．汚れについて
２．汚れの分類と実例
３．汚れによる障害
４．汚れはどのように起こるか
ａ．浮遊塵埃の沈着
ｂ．液中不純物の吸着、析出
ｃ．固体の摺動時の磨耗粉発生
Ⅱ．洗浄の原理
２．界面活性剤による分散
３．汚れの酸化分解
４．固体表面層のエッチング
５．洗浄媒体の運動エネルギーの作用
Ⅲ．洗浄工程のステップ
・汚れ剥離・再付着防止・排出・乾燥
Ⅳ．洗浄手法各論
２．噴射洗浄
３．超音波洗浄
４．その他浸漬洗浄
５．光洗浄（UV/オゾン、エキシマランプ）
６．レーザー洗浄
７．エアロゾル噴射洗浄
８．プラズマ洗浄
９．超臨界炭酸ガス流体洗浄
Ⅴ． リンス技術
１．シャワーリング
２．オーバーフロー
３．クイックダンプリンス
４．ダウンフロー
Ⅵ． 乾燥技術
１．熱風乾燥
２．スピン乾燥
３．アルコール置換乾燥
４．蒸気乾燥
５．マランゴニ乾燥
６．真空乾燥
Ⅶ． 評価技術
１．水ぬれテスト
２．接触角測定
３．残存汚れの定量測定
ａ．顕微鏡計数法
ｂ．光散乱法による表面残存粒子計数法
ｃ．残留油分の吸光度測定法
ｄ．熱脱着によるガスクロ/質量分析法
ｅ．多重反射による赤外吸収法
ｆ．表層溶解サンプルによるフレームレス原子吸光法
ｇ．表層溶解サンプルによるICP-MS法
ｈ．表層溶解サンプルによるイオンクロマト法
ｉ．全反射蛍光X線分析法
ｊ．オージェ/光電子分光法
ｋ．二次イオン質量分析法（D－SIMS、S－SIMS）
Ⅷ．洗浄技術の今後の動向
１．環境負荷の低減
２．先端製品分野の洗浄課題への対応
会 場 （株）日本テクノセンター研修室 【東京・新宿区】
日 時 平成22年4月 21日 (水) 13：00～17：00
22日 (木) 9：30～16：30