この情報は、iPhone Maniaさんのブログで知りました。

 

 

Samsung Electronicsが、3nmプロセスでの半導体製造における良品率向上を目的とし、極端紫外線(EUV:Extreme Ultra-Violet)ペリクルを導入すると発表しました。

 

Samsung Electronicsが導入するのは、光透過率90%以上のEUVペリクルです。
 
EUVペリクルは、露光工程におけるフォトマスクの防塵カバーとして用いられるものです。

 

 

Samsung Electronicsは、3nmプロセスでの半導体製造ラインに導入するEUVペリクルを、S&S Techから購入します。

 

3nmプロセスでの半導体製造において、iPhone15 Proシリーズ用A17 Bionicを製造するとみられる台湾TSMCは既に80%程度の良品率を実現しているのに対し、Samsung Electronicsのそれは20%程度に留まっていることで、改善が急務となっていました。
 
改善が実現されない場合、Qualcommなどの潜在顧客がSamsung Electronicsから台湾TSMCに流出すると懸念されています。
 
 
情報元:DigiTimes,EUVペリクルとは/三井化学
写真元:Apple Cycle(@theapplecycle)/Twitter

 

 

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