話題のニュースですね。
え・・・そんな・・・
作製技術は、とてもびっくりする話題だと思います。
なんと、コストと拡大画像について、もっと掘り下げて調べてみたいですね。
さらに、空構造はなかなか良さそうです。
なんと、エッチングの話題を見ると、なんだか嬉しくなります。
さらに気になったのですが、エッチングの情報は、非常に注目しています。
東芝は30日、携帯電話などの無線システムなどに向けて開発が進められているMEMS（微細駆動装置）について、パッケージングを実気圧に近い状態で行う「実圧気密方式」において、水の侵入を許さない小型の気…。 パッケージ作成プロセス他、拡大画像 今回開発されたのは、MEMS可動部分を保護するための中空構造を作製する２つの方式である「実圧気密方式」と「真空気密方式」における実装技術。また、両方式…、膜上に複数の穴を開け犠牲層を除去（エッチング）し、さらに樹脂を塗布して穴を封止したもの。今回、樹脂の表面張力を考慮して、穴の直径と形状およびその間隔を最適化することで、エッチング効率向上と樹脂の流入…くわえ、犠牲層をエッチングする穴の形状を円形から楕円形にすることで製造過程における応力を低減し、破損の危険性を低減している。また、厚い補強樹脂を積層することで、その後のマルチチップパッケージへの搭載に…芝、USBメモリ対応のプレゼン向け軽量DLPプロジェクタ――レーザーポインタ付きリモコン付属(2008年5月26日) 東芝、クアッドコアXeon/デュアルコアPentiumが選択できる1way I…
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こちらも要チェックです。
もうあなたは体験しましたか？極上の･･･
白くてぷるぷる
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