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 ◆◆◇ 1日1問!技術士試験1次、2次択一問題 vol.1200 ◇◆◆
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本日は情報・精密機器からの問題です。
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●表面観察方法に関する記述として,誤っているのは次のうちどれか。

(1)走査型電子顕微鏡(SEM)は、電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子を検出する事で対象を観察する。
   絶縁物を観察する場合は、観察表面に金等の導電性物質を蒸着する必要がある。
(2)透過型電子顕微鏡(TEM)は、観察対象に電子線をあて、透過してきた電子線の強弱から観察対象内の電子透過率の空間分布を観察する。
   試料を透過して観察するため、数百nm程度に薄く加工する必要がある。

(3)光学顕微鏡は古くから用いられている観察方法で、試料に光を照射して、透過光または反射光をレンズによって結像させて観察する。
   観察可能な倍率は最高でも2,000倍程度である。

(4)レーザー顕微鏡は、共焦点光学系によって得られる高コントラストの画像、二次元走査によって得た光学スライス画像、光軸方向の最大輝度を検出した
   高さ情報により、高解像度の3次元の表面画像を観察できる。また、SEMやTEMのような試料の前処理は不要である。

(5)原子間力顕微鏡(AFM)はカンチレバーの先端に取り付けた探針を用い、試料表面をなぞる、もしくは試料表面と一定の間隔を保って試料表面を走査し、
   カンチレバーの上下方向への変位を計測し、試料表面の凹凸形状の評価を行う。絶縁性試料の場合は金などの導電性物質を蒸着する必要がある。

☆* 解答 *☆
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   ◆◇解答◇◆
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(5)が不適切


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   ◆◇解答へのポイント◇◆
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(5)原子間力顕微鏡(AFM)はカンチレバーの先端に取り付けた探針を用い、試料表面をなぞる、もしくは試料表面と一定の間隔を保って試料表面を走査し、
   カンチレバーの上下方向への変位を計測し、試料表面の凹凸形状の評価を行う。
   原子間力はあらゆる物質の間に働くため、絶縁性試料の測定も可能である。

(1)走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope、SEM)
(2)透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope; TEM)
(5)原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope; AFM)

(たく)


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