『No.152 膜厚測定速度2倍に』

No.152　膜厚測定速度2倍に
テクノス　安価な分光式装置
(2010年12月22日　日経産業新聞)

1回のスキャンで全面の膜厚を測定できるイメージ分光式の膜厚測定装置を開発した。

液晶用ガラス基板やフィルムなどを連続検査できる。

スキャンの最高速度は同社従来機の2倍の毎秒1000ミリメートルを実現した。

装置価格は約1000万円からで、従来比に比べ3割以上に抑えた。