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No.143 ナノ材料共通ものさし
薄膜・多層膜標準物質の開発
(2010年11月19日 日刊工業新聞)
作製・評価技術に対する高精度化や継続的な品質管理のために、
ナノ構造評価用の標準物質の開発や国際標準化の重要性が高まってきている。
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