No.134 酸化亜鉛コーティング膜 低摩擦性能を実現

No.134　酸化亜鉛コーティング膜

低摩擦性能を実現

物材機構

(2010年10月7日　日刊工業新聞)

研究グループが開発した全自動で八つの性膜条件を変化できるスパッタ装置で

酸化亜鉛の結晶の並び方を工夫して成膜した。

大気中での摩擦係数は0.125、

真空中、油中ともに0.08をしめした。

油中で摩擦係数が低くなるのは、

酸化亜鉛による「圧電効果」が作用し反発力が発生しているからとみている。

（記事内容より）

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