『NO.124 透明導電膜 酸化亜鉛で量産可能』

不二越とヘンミ計算尺が装置

希少金属　不要

(2010年8月18日　日刊工業新聞)

不二越はヘンミ計算尺と共同で、

透明導電膜用に酸化亜鉛(ZnO)膜の量産を可能にする成膜装置

「Z-TOPS」を開発し受注を始めた。

特殊な熱処理が不要な成膜方式を採用。

電気伝導度（比抵抗）は３×１０の－４乗Ωcmで、

透明導電膜材料で現在主流のインジウム・スズ酸化物(ITO)の代替が

可能な承知を実現した。

希少金属のインジウムを使わずに透明導電膜をつくれる。

プラズマビームで原料をイオン化して基板上に膜を形成する

イオンプレーティング方式を採用した。

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