NO.122 太陽日酸 MOCVD

NO.122 太陽日酸　MOCVD

高度なガス制御技術が強み

(2010年８月２日　日刊工業新聞)

MOCVD(有機金属化学気相成長)装置はガス技術の固まり。

より高輝度なLEDを作るには、

基板上に高品質な結晶を積層させるこがポイントだが、

ここに高度なガス技術が役立つ。

最近ではLEDの生産コストを低減するため、

装置の大型化や大口径基板への対応のニーズが高い。

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