No９９ダイヤモンドで１インチウエハー日経産業新聞 ２２年３月２日

産総研は、プラズマを利用してダイヤモンドで１インチウエハー

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変形変寸無しで密着力向上 　http://www.itfc-cot.jp/mad.html

200℃以下の低温処理で、コーティングの密着性を向上します。

DLCの密着さらに向上 　http://www.itfc-cot.jp/maddlc.html

インターフェイスのMAD+DLC。パンチ等の耐久性DLCより4倍向上