『No６１ 情報ニュース LEDの表面傷つけずに洗浄 』

LEDの表面傷つけずに洗浄

シリコン接着剤対応の装置

荏原ユージライト

(2009年10月15日　日経産業新聞)

プラズマ化したアルゴンを噴射することで、

製造過程で基板に付着して不具合の原因となるシリコン製接着剤の成分を、

基板を傷つけずに取り除ける。

シリコン製の接着剤は接着強度を高めるために熱硬化の工程でシロキサンなどの有機物が発生する。

このシロキサンが基板上の配線材などに付着して配線の強度を損ない、

LEDの不具合の原因になるケースがある。

装置の価格は未定だが、

1500万円程度になるとみられる。

（記事内容より）

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