『No48 ダイヤ性ダイオードにCVDダイヤモンド＋ホウ素膜コーティング』

ダイヤ性ダイオードにCVDダイヤモンド＋ホウ素膜コーティング

ダイヤ製ダイオード

簡単構造で耐電圧１キロボルト

【2009年08月21日　日経産業新聞】

物質・材料研究機構が開発。

開発したのはショットキーダイオードというタイプ。

作製法はまずダイヤ基盤上に、

ダイヤに微量のホウ素を混ぜた

厚さ１０μｍの薄膜を化学的気相成長法（CVD）

で作る。

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インターフェイスでもCVDコーティング装置を

お取り扱いしております。

コーティング膜種：

TiN、TiC、Ti系

SiC、AlN、Al2O3、

Wコート　等。

ご興味があればカタログもどうぞ(＝⌒▽⌒＝)

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