No46 住友精密、米アビザ社のPVD装置関連部門買収

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（2008年8月18日　日経産業新聞）

MEMS装置事業　住友精密が米社から買収

買収対象の事業はPVD（物理的蒸着法）装置などの

MEMS製造に使う成膜装置が中心で、

年間約５０億円の売上がある。

薄膜に微小な構造を刻むMEMSの製造過程で、

取り扱う装置を増やすことができる。

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