本日は、TiO2。TiO2は実に奥深い。さまざまな分野で広く使われる。
光を受けて、有機汚染物質を酸化するので、光触媒用途や、屈折率が高いため、光学膜用途、もちろん透明導電膜としても研究されてたりする。結晶は無害で白いので、今後発展するであろう、電子ペーパーのホワイトに使われてたり、化粧品になんかも含まれてたりする
製法は、Ti、（TiO2）にOx+Ar、温度によって結晶化が進むので、光触媒作用のアナターゼやルチルの層が出来る。その中でも光触媒は、アナターゼ構造が能力が高いため、アナターゼの製法がいち早く研究盛んになっている
でも結構難しいので、ITO同様、圧力、酸素量、Powerなんかが重要。400度以上の高温で結晶化させるといい膜が出来上がる。がんばっていい膜つくろ～