ITO製法つづきますよ～
透明で電気を流せる材料はほかにもIZO、AZO、ICO・・・・最近ではZnO系が活発に製品化を目指しておりますが、いやはやITOの天下は翻らないでしょう。透明性、電気特性、エッチング加工性などなど。
先日も記載しましたが、最適条件を見つけるのがITOよりも大変。なぜなら、ITOよりも特性が見出せていないため、ほんとにこの条件で良いの
っていう指標が、やはりITOとの比較になってしまう為、余計時間が掛かってしまう。温度を掛けても、非晶質であれば、変化しないし、ここはやはり圧力、Powerによって結晶制御をしていくと一番てっとりばやい。RF、DC電源での比較も行えどさほど変わらず
W密度や、応力もチェックポイント。 圧縮や引っ張り応力も膜にとっては厄介なファクター故、積層構造にする際も最適にしていくことがデバイスを組んでいく上でも重要に成りますね