昨夜の小雨に黄砂が混じっていたのか、車がドロドロに、
今日は、ポカポカ天気のなので早速洗車しました。
洗車といえば、
半導体製造工程の中に露光をするプロセスがありますが、
この露光プロセスで使用するマスクガラスについて説明します。
前回、レジストを遠心力で均一に成膜する技術を説明しましたが、
その後工程になります。
全面にレジスト塗布の後、必要な部分と必要でない部分とに分ける為に露光します。
この時、パターンを転写するのですが、転写するもとになるのがマスクガラスです。
このマスクガラスが汚れていると、この汚れも転写してしまいます。
なので、マスクガラスは常にきれいでなくてはなりません。
ですが、レジストは気化します。なのでマスクガラスは汚れます。
そうです。マスクガラスの洗浄工程が必要になります。
マスクガラスが小さい頃や、パターンが少ないうちは手洗いで対応していました。
最先端の部品製造工程でも予算がないと手洗いです。
ですが、作業者によって洗浄ムラがあったりして不良品の原因となっていました。
というわけで、自動の洗浄機を製作した時の説明です。
まず、洗浄機を作る時に考えるのは、
どんな汚れがあるのか？です。
このマスクガラスの場合、
１，ほこり
２，気化したレジスト
３，脂分
４，ガラスのカケラ 等が考えられます。
次に考えるのは、どんな風に汚れがついているのか？です。
１，表面に乗っているだけ
２，皮膜の様についている
３，粘着性があり、べたべたとついている
４，刺さった感じでついている
どれもミクロン単位の大きさですが、これらを洗浄する方法を考えます。
フォトマスクガラスの材質は石英が多いので、その時の洗浄方法です。
１については、純水で洗い流せば取れます。
２については、ブラシで皮膜を粉々に壊しながら溶剤又は純水で洗い流します。
３については、脂質や、たんぱく質の剥離には、アルカリ性溶剤を浸透させて
純水で洗い流します。
４については、高圧洗浄が有効ですが、場合によっては更に内部深くに刺さります。
（石英ガラスの場合、表面が固いので、研磨くずやガラス片がまれに引っ掛かっている程度
なので、高圧の刺激で取れることが多いです。）
次に、洗浄方法が決まった所で、どう自動化するか、どこまで自動化するか、を考えます。
長くなったので、つづきは次回にします。
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