エスティアイ(STI)は基板サイズ変更によって基板を支持する固定ピンの位置を自動で調節することができる基板乾燥装置の特許権を取得したと 27日公示した.
会社側は “基板サイズの変更によって固定ピンの位置を自動に変更することができて多様なサイズの基板乾燥工程に適用されることができる”と “特に多くの工程を一つのチャンバ内で同時に進行することができる”と明らかにした.次に“基板乾燥装置は基板サイズが変更されても固定ピンの位置変更を通じ基板の非活性領域を支持するために基板サイズ変更による基板の乾燥不良を防止することができる”と言った.
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以下原文です。
http://news.nate.com/view/20100127n12464