Dongjin Semichem-東進セミコン
スピロ環状ケトン基を持つフォトレジスト用ポリマー及びこれを含むフォトレジスト組成物に対する特許を取得した.
(略)
以下原文です。
http://www.thinkpool.com/itemanal/news/newsRead.jsp?mcd=Q0E&page=1&code=005290&number=2089634
Dongjin Semichem-東進セミコン
スピロ環状ケトン基を持つフォトレジスト用ポリマー及びこれを含むフォトレジスト組成物に対する特許を取得した.
(略)
以下原文です。
http://www.thinkpool.com/itemanal/news/newsRead.jsp?mcd=Q0E&page=1&code=005290&number=2089634