複数の異なる「超音波振動子」を同時照射する基礎技術ーー脱気ファインバブル発生液循環装置--複数の異なる「超音波振動子」を同時照射する基礎技術 ーー脱気ファインバブル発生液循環装置--(超音波システム研究所)