EXQU® NF シリーズ [Ｏリング]
主な特徴
EXQU®NFシリーズは、耐プラズマ性に優れ排気部などに使われてO2プラズマではパーフロよりも優れた特性を持ちます。
Non-carbon製品でパーティクルが少なく、有害な金属イオンは白色系のパーフロと同一レベ
です。
EXQU®NFシリーズの強度と耐熱性はFKMより優れています。
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Typical Physical properties |
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EXQU® NF-2 |
EXQU® N70DB |
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Color |
BEIGE / Brown |
Dark brown |
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100% Modulusa, Mpa |
13 |
13.32 |
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Elongation at breaka, % |
240 |
281 |
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Hardness Shore Ab |
70 |
70 |
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Compression Setc, % (70 hr at 200˚C) |
17 |
15 |
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Max. Continuous Service Temperature, ˚C |
220 |
220 |
EXQU® P250B パーフロ（黒） [Ｏリング] FFKM O-RING
主な特徴
EXQU®P250Bは、優れた耐化学性により様々な化学工程の分野に適用され、低い圧縮永久ひずみによりシール性の保存力をアップさせるよう機械的物性を強化したパーフロです。
この製品は、酸、アルカリ類、ケトン類、エステル類、アルコール類、お湯などの様々な化学物質に対し優れた抵抗性を示しますが、高温のアミン類への使用は制限されます。この製品の最高の使用温度は260˚Cほどですが、選択された流体の温度は別途に考慮しなければなりません。
機能及び長点
低い汚染性 / 優れた耐プラズマ性 / 耐化学性 / 優れた機械的強度 / 低い圧縮永久ひずみ
適用分野
Chamber lip seals / Bonded slit valve door seals / Bonded Gate valve door seals / Gas inlet seals
/ Slit Valve seals / Chemical Pump seals
EXQU® P70R パーフロ（赤） [Ｏリング] FFKM O-RING
主な特徴
EXQU® P70Rは、優れた耐化学性により様々な化学工程の分野に適用され、低い圧縮永久ひずみによりシール性の保存力をアップさせるよう機械的物性を強化したパーフロです。
この製品は、耐化学性が要求されて低い温度での湿式エッチング、 ストリッピング・クリーニング工程、そして低密度のプラズマに使われます。また、優れた機械的性質により静的・動的の両方に使います。最高の適応温度は230˚Cほどですが、選択された流体の温度は別途に考慮しなければなりません。
機能及び長点
低い汚染性 / 優れた耐プラズマ性 / 耐化学性 / 優れた機械的強度 / 低い圧縮永久ひずみ
適用分野
Chamber lip seals / Bonded slit valve door seals / Bonded Gate valve door seals / Gas inlet seals
/ Slit Valve seals / Chemical Pump seals
sales@exqu.jp
EXQU® P300H パーフロ（黒） [Ｏリング]
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EXQU® P300H |
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| 主な特徴 |
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| EXQU® P300Hは、過酷な環境と特別な状態でシーリング機能を最適化させるために設計された | |
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パーフロです。EXQU® P300Hは、酸、アルカリ類、ケトン類、エステル類、アルコール類、お湯などの |
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ほとんどの化学物質に優れた抵抗性を持っています。また、高温条件でも圧縮永久ひずみが少ないなどの |
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物理的な特性を持ち、多様な流体に対する耐化学にも優れています。最高使用温度は320˚Cです。
機能及び長点
高温での安定性 / 広範囲の化学的互換性 / 低い圧縮永久ひずみ / 優れた機械的物性 適用分野
石油化学産業 / エネルギー産業 / 宇宙航空産業 / 原子力産業 / LCD、OLED、半導体産業
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EXQU®P260C パーフロ [Ｏリング]
主な特徴
EXQU® P260Cは広範囲の化学的抵抗に優れ、特に半導体の激しいプラズマ工程に使えるよう設計された製品です。パーフロにPTFEのナノ粒子を重合する特別な技術を適用し、酸素及びフッ素のプラズマ工程での抵抗性を改善して粉塵を最少化し、低アウトガスであるためHDPCVDやPECVDのような静的・動的Dry工程に使われています。
安定的な使用温度は260˚Cまでをお勧めします。
