ラピダス、2ナノの試作ウエハー公開 27年量産へ「素子動作を確認」
久保田 龍之介
日経クロステック／日経エレクトロニクス
ラピダス、2ナノの試作ウエハー公開 27年量産へ「素子動作を確認」 | 日経クロステック（xTECH）
ラピダス社長の小池淳義氏（左から2人目）らが2nm世代のトランジスタを集積した試作ウエハーを披露した（写真：日経クロステック）
[画像のクリックで拡大表示]
Rapidus（ラピダス、東京・千代田）は2025年7月18日、パートナー企業や取引先を対象に先端半導体の開発状況を説明するイベントを北海道千歳市で開催した。同年4月に稼働させた千歳工場で2nm（ナノメートル）世代の基本素子（トランジスタ）を試作し、動作を確認したと発表した。記者会見でラピダス社長の小池淳義氏は「顧客の設計に基づく量産を本格的に進める上でマイルストーンになる」と語った。
2nm世代のトランジスタを集積した半導体ウエハーを公開し、2027年を目指す量産開始に向けて開発が順調に進んでいることをアピールした。千歳工場にはこれまでにEUV（極端紫外線）露光装置など200台以上の製造装置を搬入し、2025年4月に稼働を始めた。同月1日にはEUV露光による最初のパターニングを実現し、このほど第1弾の試作ウエハーが完成した