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◆◆◇ １日１問！技術士試験1次、2次択一問題 vol.4246 ◇◆◆
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今日は機構ダイナミクス・制御からの問題です。
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●ＭＥＭＳ式の圧力センサの用途に関する次の記述のうち最も不適切なものはどれか？
（１）洗濯機の水位検知
（２）スマートフォンの気圧センサー
（３）自動車の油圧検知
（４）マイクロミラーの駆動
（５）血圧の測定
☆* 解答 *☆
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（４）マイクロミラーの駆動
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◆◇解答◇◆
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（４）マイクロミラーの駆動 が不適切
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◆◇解答へのポイント◇◆
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MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）式圧力センサは、シリコン基板を微細加工技術を用いて作られた非常に小さな圧力センサーです。検出原理は歪を計測するピエゾ抵抗方式、変位を計測する静電容量方式がある。
プロジェクタ等のマイクロミラーでは静電力による静電方式であるが、圧電方式や電磁方式もある。
（たく）
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