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今日は二次試験機械力学・制御（計測）からの問題です。
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●次の内容は正（○）か誤（×）か。
●質量流量計には主に液体の質量流量を計測するコリオリ式、主に気体を計測する熱式等がある。
コリオリ式流量計は、微小な位相角を検出するため、100cc/min以下の微小流量計測精度が低い。
熱式流量計は、可動部を要しない最も構造が簡単でかつ高精度な流量計で主に半導体製造装置に使用されている。
☆* 解答 *☆
↓
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◆◇解答◇◆
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×（間違い）
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◆◇解答へのポイント◇◆
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単位時間当たりに与えられた面を通過する物質の質量である。
この場合のcc/minは、体積流量の単位。液体の質量流量単位は、「ｍg/min」。
体積流量計との違いや計測方法の違いも確認する。
（hiroboar）
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☆* 解答 *☆
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◆◇解答◇◆
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×（間違い）
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◆◇解答へのポイント◇◆
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単位時間当たりに与えられた面を通過する物質の質量である。
この場合のcc/minは、体積流量の単位。液体の質量流量単位は、「ｍg/min」。
体積流量計との違いや計測方法の違いも確認する。
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