最近、ミニマルファブという概念があることを知った。

産総研が考えたらしく

TSMCやインテルのような大規模なファブ(半導体製造業)でなく、

小型で足回りのいいファブらしい。

 

一部転載:

特徴[編集]

直径12.5mmまたは13.5mmの小径ウェハを「シャトル」という密閉容器に入れて装置間をハンドリングすることで、クリーンルームではない環境下で製造ラインを構築することを目標としている。

個々の製造装置は幅294 mm×奥行き450 mm×高さ1440 mmというコンパクトな外形寸法に外観デザインを含めて規格統一を目指している。操作画面などのユーザーインターフェース部も規格化され全装置で統一が図られている。

ウェハと装置の小型化に伴い、薬液の供給・廃棄設備も縮小あるいは不要となり、電源も家庭用単相100 Vであるため、製造工場の設備投資が大幅に軽減されることが期待されている。

狙う市場[編集]

数百から十万個程度の多品種少量生産が求められるマーケットに対して、ミニマルファブが実現すれば従来のチップと同程度の価格で半導体チップを供給することが可能になると見込まれる。そのため、少量生産の小型電子機器の製品化を促進し、新しい電子機器マーケットの創造に役立つことが期待される。また、医療機器航空宇宙マイクロロボットなど最先端技術の研究開発に貢献し、次世代電子機器マーケットに対応することも狙いとしている。